電子級(jí)三甲基鋁(TMA)

產(chǎn)品描述

參數(shù)

一、分子式：Al(CH₃)₃

二、分子量：72.09

三、理化性質(zhì)：

無(wú)色透明液體，熔點(diǎn)15℃，沸點(diǎn)127℃，密度0.752g/mL。在空氣中瞬間就能著火自燃，與具有活性氫的醇、酸及水劇烈反應(yīng)。與己烷、庚烷等脂肪烴及甲苯、二甲苯等芳香烴以任意比例混溶。

四、用途:

在光伏領(lǐng)域用于PECVD或ALD沉積Al₂O₃鈍化膜；在半導(dǎo)體制造，用于沉積High-k材料介質(zhì)薄膜，如Al₂O₃；同時(shí)，TMA還是有機(jī)金屬化學(xué)氣相沉積法（MOCVD）制造含鋁半導(dǎo)體（如AlAs, AlN, AlP, AlSb, AlGaAs, AlInGaAs, AlInGaP, AlGaN, AlInGaN, AlInGaNP等）中有機(jī)金屬的重要來(lái)源。

五、質(zhì)量指標(biāo)：

分析項(xiàng)目	技術(shù)指標(biāo)		分析項(xiàng)目	技術(shù)指標(biāo)
分析項(xiàng)目	5N	6N	分析項(xiàng)目	5N	6N
銀（Ag），max	0.4 ppm	10 ppb	鋰（Li），max	0.1 ppm	5 ppb
砷（As），max	0.5 ppm	10 ppb	鎂（Mg），max	0.05 ppm	10 ppb
硼（B），max	0.4 ppm	10 ppb	錳（Mn），max	0.05 ppm	10 ppb
鋇（Ba），max	0.1 ppm	10 ppb	鈉（Na），max	0.5 ppm	20 ppb
鈹（Be），max	0.2 ppm	5 ppb	鎳（Ni），max	0.4 ppm	20 ppb
鉍（Bi），max	0.2 ppm	5 ppb	鉛（Pb），max	1 ppm	10 ppb
鈣（Ca），max	0.1 ppm	10 ppb	硒（Se），max	1 ppm	10 ppb
鎘（Cd），max	0.1 ppm	10 ppb	硅（Si），max	1 ppm	20 ppb
鈷（Co），max	0.1 ppm	10 ppb	錫（Sn），max	0.1 ppm	10 ppb
鉻（Cr），max	0.1 ppm	20 ppb	碲（Te），max	0.1 ppm	10 ppb
銅（Cu），max	0.15 ppm	20 ppb	鈦（Ti），max	0.1 ppm	50 ppb
鐵（Fe），max	0.1 ppm	50 ppb	釩（V），max	0.2 ppm	50 ppb
鎵（Ga），max	0.2 ppm	50 ppb	鋅（Zn），max	0.2 ppm	50 ppb
鍺（Ge），max	0.1 ppm	50 ppb	鋯（Zr），max	0.2 ppm	50 ppb
汞（Hg），max	0.1 ppm	10 ppb	有效期	36個(gè)月	36個(gè)月
鉀（K），max	1 ppm	10 ppb	/